타겟 소개
- 최대 길이가 4m에 달하는 단면 또는 일체형 대형 타겟
- 다양한 소재: Ag, 귀금속 합금, Cr, Cu, Ti, 스테인리스강, Zn, Sn 등
- 균일한 막 형성을 위한 균일한 크기의 초미세 입자
- 장시간에 걸친 코팅 공정에 견딜 수 있고 챔버 가동 중지 시간을 줄인 고밀도 소재
- 사내 소재 합성 및 제작 작업
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대면적 타겟
코팅 공정에서 더욱 넓은 적용 범위를 위해 당사는 귀사의 요건에 맞게 맞춤 설계된 대형의 기하학적 구조의 평면형 및 Rotatable 스퍼터링 타겟을 제조합니다.
- 건축용 유리(low-e, 태양열 제어)
- 자동차 유리
- 반사방지, 정전기 방지 코팅(ARAS)
- 태양열
- 디스플레이
- 의료
- 이제 주조 Rotatable 타겟 및 플라즈마 분사 Rotatable 타겟을 제공합니다.
- 건축용 유리 및 자동차 유리용 제품: 아연 및 아연 합금, 실리콘, 니켈-크롬, 주석 및 주석 합금, 산화티타늄
- 태양열용 제품(박막): 인듐 및 인듐 합금, 구리 및 구리 합금, 실리콘 및 실리콘 합금, ZAO 및 아연 합금
