背板

合适的背板对于您的溅射工艺至关重要。我们可以帮助您选择适合您应用的最佳 背板。在选择时，我们会考虑靶板的材料特性和预期的工作温度。

Materion 提供

  • 背板可以单独购买，也可以和溅射靶材或其他服务一起购买
  • 溅射靶材绑定时，我们将溅射靶材与背板完全对准并适当贴合
  • 超声检测可检验证明绑定的完整性
  • 我们的材料和服务组合为您提供总成本最低的溅射工艺
  • 其他可用的服务包括精密零件清洁和贵重金属精炼

制造改善世界的先进材料。

单击了解有关 Materion 背板和靶材的更多信息。

可用材料

典型的背板材料包括：

  • 铜
  • 铝
  • 钼
  • 不锈钢
  • 特种稀有有色金属

全面的 OEM 支持

我们常规生产的设备平台的部分清单包括：

Anelva Applied Material Aviza CVC
Evatec KDF Leybold NEXX
Novellus Perki-Elmer SFI Singulus
Temescal Trikon Unaxis Varian
Veeco  Tango Systems

溅射靶材

我们生产各种材料、尺寸、形状和配置的高纯度、低喷溅溅射靶材。

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大面积靶材

对于涂装工艺中的大面积覆盖，我们生产高性能的大型几何平面和旋转溅射靶材，通过定制设计可以满足您的各种要求。

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旋转靶材

相较于我们的平面配置，圆柱形溅射靶材具有更大的侵蚀区，适合大面积涂层操作。

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