타겟 본딩
스퍼터링 타겟과 그 백킹 플레이트 사이 본딩의 열적 및 기계적 무결성은 최적의 성능에 필수적입니다. 이러한 목표를 달성하려면 타겟 및 백킹 플레이트의 물리적 특성을 고려해야 하며 올바른 본딩 공정을 선택해야 합니다. Materion은 Solder 본딩, Diffusion 본딩 및 독점적 고온 본딩의 선택권을 제공합니다.
전략적으로 위치한 서비스 센터는 포괄적인 소재 관리 서비스를 제공합니다:
- 스퍼터링 타겟 소재 조달 및 제작
- 백킹 플레이트 정비
- 정밀 부품 및 쉴드 키트 세정
- 귀금속 정제
당사는 다음을 포함한 모든 주요 장비 플랫폼을 서비스합니다:
| Anelva | Applied Material | Aviza | CVC |
| Evatec | KDF | Leybold | NEXX |
| Novellus | Perki-Elmer | SFI | Singulus |
| Temescal | Trikon | Unaxis | Varian |
| Veeco | Tango Systems |
정제 및 금속 관리
당사의 귀금속 회수 프로그램은 업계에서 가장 높은 금속 수익과 가장 빠른 침전 시간 중 일부를 제공합니다. 당사의 완전한 서비스 접근방식은 궁극적으로 비용을 절감하고 고객의 위험 요소를 최소화합니다.
