백킹 플레이트

올바른 백킹 플레이트는 스퍼터링 공정에 중요합니다. 당사는 귀하의 애플리케이션에 가장 적합한 백킹 플레이트를 선택하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 고려 사항에 타겟 및 플레이트의 소재 특성 및 예상되는 작동 온도가 포함됩니다.

Materion은 결과물을 제공합니다

  • 백킹 플레이트는 단독으로 구매하거나 스퍼터링 타겟이나 다른 서비스와 함께 구매 가능
  • 당사의 스퍼터링 타겟 본딩은 스퍼터링 타겟을 100% 정렬하여 완벽히 맞추어서 백킹 플레이트에 접합함
  • 초음파 테스트로 접합 무결성 인증
  • 재료 및 서비스 제품군을 조합하여 스퍼터링 공정에 맞는 최저 총 소유 비용 제공
  • 정밀 부품 세정, 귀금속 정제 등 기타 서비스 제공

세상을 개선하는 고급 소재의 생산.

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일반적인 백킹 플레이트 소재:

  • 구리
  • 알루미늄
  • 몰리브덴
  • 스테인리스강
  • 특수 희귀 및 비철 금속

정기적으로 생산하는 장비 플랫폼 예시:

Anelva Applied Material Aviza CVC
Evatec KDF Leybold NEXX
Novellus Perki-Elmer SFI Singulus
Temescal Trikon Unaxis Varian
Veeco  Tango Systems

스퍼터링 타겟

다양한 소재, 크기, 형태, 배열로 튀는 현상이 적은 고순도 스퍼터링 타겟을 생산합니다.

대면적 타겟

코팅 공정에서 대면적 적용 범위를 위해 당사는 귀사의 요건에 맞게 맞춤 설계된 대형의 기하학적 구조의 고성능 평면형 및 Rotatable 스퍼터링 타겟을 제조합니다.

회전형 타겟

당사의 평면형 배열에 비해 원통형 스퍼터링 타겟은 대면적 코팅 작업을 위한 더 큰 Erosion 영역을 제공합니다.