
백킹 플레이트
올바른 백킹 플레이트는 스퍼터링 공정에 중요합니다. 당사는 귀하의 애플리케이션에 가장 적합한 백킹 플레이트를 선택하는 데 도움을 드릴 수 있습니다. 고려 사항에 타겟 및 플레이트의 소재 특성 및 예상되는 작동 온도가 포함됩니다.
일반적인 백킹 플레이트 소재:
- 구리
- 알루미늄
- 몰리브덴
- 스테인리스강
- 특수 희귀 및 비철 금속
정기적으로 생산하는 장비 플랫폼 예시:
Anelva | Applied Material | Aviza | CVC |
Evatec | KDF | Leybold | NEXX |
Novellus | Perki-Elmer | SFI | Singulus |
Temescal | Trikon | Unaxis | Varian |
Veeco | Tango Systems |