Hinterlegplatten

Die richtige Hinterlegplatte ist für den Sputterprozess entscheidend. Wir können Ihnen bei der Wahl der besten Hinterlegplatte für Ihre Anwendung helfen. Zu berücksichtigen sind die Materialeigenschaften des Targets, der Platte und deren erwartete Betriebstemperaturen.

Materion bietet:

  • Hinterlegplatten können einzeln oder in Kombination mit Sputtertargets oder Dienstleistungen erworben werden.
  • Das Target-Bonding heftet die Sputtertargets mit hundertprozentiger Ausrichtung und richtiger Passung an die Hinterlegplatten.
  • Eine Ultraschallprüfung zertifiziert die Integrität der Klebeverbindung.
  • Die Kombination unserer Material- und Dienstleistungsangebote bietet Ihnen die niedrigsten Gesamtbetriebskosten für Ihren Sputterprozess.
  • Andere verfügbare Dienstleistungen sind die Reinigung von Präzisionsteilen und die Raffinerie von Edelmetallen.

Wir entwickeln die Werkstoffe der Zukunft

Mit einem Klick erhalten Sie weitere Informationen  über Materion Hinterlegplatten und Target-Verbindung

Verfügbare Materialien

Typische Materialien der Hinterlegplatte sind:

  • Kupfer
  • Aluminium
  • Molybdän
  • Edelstahl
  • Spezielle seltene und nicht eisenhaltige Metalle

Umfassender OEM-Support

Hier ein Auszug einiger Ausrüster deren Anlagen wir laufend bestücken:

Anelva Applied Material Aviza CVC
Evatec KDF Leybold NEXX
Novellus Perki-Elmer SFI Singulus
Temescal Trikon Unaxis Varian
Veeco  Tango Systems

Sputtertargets

Designs und Formen maßgeschneiderter Edelmetall-Sputtertargets, die die Lebensdauer von Targets verlängern, die Kosten reduzieren und die Einsatzzeit von Werkzeugen erhöhen.

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Grossflächige Sputtertargets

Für die Beschichtung von großen Flächen fertigen wir hochleistungsfähige große planare und drehbare Sputtertargets, die speziell für die Erfüllung Ihrer Anforderungen entworfen werden.

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Drehbare Targets

Im Vergleich zu unseren planaren Formen bieten unsere zylindrischen Sputtertargets größere Bereiche für einen Materialabtrag speziell für großflächige Beschichtungsoperationen.

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