溅射靶材

我们的高纯度、溅射靶材可以满足您对于均匀性、重现性和同质性的要求。我们生产各种材料、尺寸、形状和配置的溅射靶材。

Materion 提供

  • 设计最佳合金成分的材料工程支持
  • 定制的贵金属溅射靶材设计和形式,可延长靶材寿命、降低成本、延长设备正常运行时间
  • 高纯度源材料,表面清洁度高,合金成分准确,而且相含量一致
  • 生产可提供均匀薄膜涂层的完美晶粒靶材的技术
  • 帮助客户管理和回收贵金属以取得最佳回报的服务

制造改善世界的先进材料。

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  • 贵金属及非贵金属溅射靶材,包括
    • 金及金合金
    • 铂及铂合金
    • 银及银合金
    • 钛及钛合金
    • 镍及镍合金
  • 标准、定制和新采用的合金
  • 非传统材料
  • 具有定制成分比例的陶瓷和溅射靶材
  • 大面积靶材
  • 旋转或平面
  • 浇铸靶材
  • 多种形状和尺寸
  • 延长使用寿命的设计
  • 离子束淀积 (IBD) 靶材

通过收购 Heraeus Target Business,我们现在可提供:

  • 建筑和汽车玻璃–金、镍、镍铬、NiV、钯、钌、硅、银、锡、钛、锌
  • 太阳能 – 铝、氧化铝、铜、铜铟镓硒、铜镓、金、铟、NiV、透明导电氧化物 – Cd2SnO4、二氧化钛、硅、硅合金、银、皂、锌合金、氧化锌、碲化锌
  • 显示器 – 铝、铜、铬、氟化锂、钼、硅、银
  • 数据存储 – 铝、钴、黄金、铱、铁、镍、钯、铂、铑、银、钽、钛、钨
  • 半导体 – 金、金锡、AuGe、镍、奥格、钯、铂、银、钛、钨、WTi

大面积靶材

对于涂装工艺中的大面积覆盖,我们生产高性能的大型几何平面和旋转溅射靶材,通过定制设计可以满足您的各种要求。

旋转靶材

相较于我们的平面配置,圆柱形溅射靶材具有更大的侵蚀区,适合大面积涂层操作。

背板

合适的背板对于您的溅射工艺至关重要。我们可以帮助您选择适合您应用的最佳背板。在选择时,我们会考虑靶板的材料特性和预期的工作温度。