Grossflächige Sputtertargets

Für die Beschichtung von großen Flächen fertigen wir hochleistungsfähige große planare und drehbare Sputtertargets, die speziell für die Erfüllung Ihrer Anforderungen entworfen werden.

Über unsere Targets

  • Große Targets in gegliedertem oder monolythischem Design, mit einer Länge von bis zu vier Metern.
  • Große Auswahl an Materialen: Ag, Edelmetalllegierungen, Cr, Cu, Ti, Edelstahl, Zn, Sn und mehr.
  • Extrem feine und gleichgroße Körner für  eine gleichmäßige Beschichtung.
  • Materialien mit hoher Dichte für längere Beschichtungsläufe und reduzierte Ausfallzeiten der Kammer.
  • Materialsynthese und Herstellung im eigenen Haus.

Mit einem Klick erhalten Sie weitere Informationen über Materion Großflächentargets.

Anwendungen

  • Architekturglas (low-e, Solarsteuerung)
  • Automobilglas
  • Antireflex- und Antistatikbeschichtungen (ARAS)
  • Solaranwendungen
  • Display
  • Medizinische Anwendungen

Erweiterte Produkte und Technologien

  • Wir bieten jetzt gegossene und plasmagespritzt drehbare Targets an
  • Produkte für Architektur- und Automobilglas: Zink und Zinklegierungen, Silikon, Nickel-Chrom, Zinn und Zinnlegierungen, Titanoxid
  • Produkte für Solaranwendungen (Dünnschicht): Indium und Indiumlegierungen, Kupfer und Kupferlegierungen, Silikon und Silikonlegierungen, ZAO und Zinklegierungen

Sputtertargets

Designs und Formen maßgeschneiderter Edelmetall-Sputtertargets, die die Lebensdauer von Targets verlängern, die Kosten reduzieren und die Einsatzzeit von Werkzeugen erhöhen.

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Drehbare Targets

Im Vergleich zu unseren planaren Formen bieten unsere zylindrischen Sputtertargets größere Bereiche für einen Materialabtrag speziell für großflächige Beschichtungsoperationen.

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Hinterlegplatten

Die richtige Hinterlegplatte ist für den Sputterprozess entscheidend. Wir können Ihnen bei der Wahl der besten Hinterlegplatte für Ihre Anwendung helfen. Zu berücksichtigen sind die Materialeigenschaften des Targets, der Platte und deren erwartete Betriebstemperaturen.

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